
国家知识产权局信息显示,深圳市大族半导体装备科技有限公司取得一项名为“开盖机构和光刻机”的专利,授权公告号CN224848910U,申请日期为2025年6月。
专利摘要显示,本申请公开一种开盖机构和光刻机,开盖机构用于打开掩膜盒的盖体,掩膜盒的盖体上设置有锁扣和提耳,开盖机构包括开盖模组和移动模组。开盖模组包括夹持件和与夹持件连接的第一驱动组件;移动模组可沿竖直方向移动,移动模组包括承载面,承载面用于承载掩膜盒。夹持件包括第一夹持部和第二夹持部,第一夹持部夹持盖体的锁扣,第二夹持部夹持盖体的提耳,第一驱动组件用于控制第一夹持部的开合和第二夹持部的开合,在移动模组的移动作用下结合第一夹持部和第二夹持部的夹持作用,锁扣解锁,且盖体与掩膜盒的本体与分离。随着移动模组的移动,第一夹持部自动夹持实现盖体的自动解锁,第二夹持部夹持提耳实现盖体与本体的自动分离,提升开盖效率。
天眼查资料显示,深圳市大族半导体装备科技有限公司,成立于2018年,位于深圳市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本12000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市大族半导体装备科技有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目287次,专利信息895条,此外企业还拥有行政许可18个。
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作者:情报员
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